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附件：波谱仪（*3）、能谱仪（*1） 分析元素 ：B-U
分 辨 率：3nm
电子探针是一种利用电子束作用样品后产生的特征X射线进行微区成分分析的仪器，可以用来分析薄片中矿物微区的化学组成。除H、He、Li、Be等几个较轻元素外，还有U元素以后的元素以外都可进行定性和定量分析。可以进行点、线扫描、面扫描分析。 >

型号： talos 厂家： FEI 附件：超级能谱、STEM、原位加热杆
加速电压：20-200kV
分 辨 率：0.15nm >

EBSD，全称电子背散射衍射，主要特点是在保留扫描电子显微镜的常规特点的同时进行空间分辨率亚微米级的衍射，给出结晶学的数据。 >

阴极荧光光谱（cathodoluminescence spectroscopy）简称CL谱，是指利用电子束激发半导体，将价带电子激发到导带并在价带留下空穴，而后由于导带能量高不稳定，被激发电子又重新跃迁回价带与空穴复合，并释放出能量E≤Eg（能隙）的特征荧光谱。 >

型号： K-ALPHA
厂家： THERMO
附件： 氩离子枪
光斑尺寸：30-400微米
分析模式：可选面积能谱分析，深度分析
例：玻璃表面二氧化钛涂层O元素不同离子价态比例>

颗粒物分析软件，针对各种灰度与基体不同的颗粒物进行分析及统计,颗粒物尺度可至纳米级别。 >