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附件：波谱仪（*3）、能谱仪（*1）

分析元素 ：B-U

分 辨 率：3nm

电子探针是一种利用电子束作用样品后产生的特征X射线进行微区成分分析的仪器，可以用来分析薄片中矿物微区的化学组成。除H、He、Li、Be等几个较轻元素外，还有U元素以后的元素以外都可进行定性和定量分析。可以进行点、线扫描、面扫描分析。

例：电池粉末EPMA面分布测量结果