品 牌：Coxem
型号：SPT-20
该产品自动真空控制，条件设置简单，可以实现快速抽真空（<2min），对样品进行镀膜处理，完成镀膜后可以自动卸载真空。同时，样品高度的调节也十分方便。
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技术指标：
1、电源：AC 220V，500W
2、重量：10kg
3、尺寸：420（W）x220（D）x230（H）mm
4、机械泵：50L/min（60Hz），AC 220V，150W，14.5kg
5、靶的尺寸：直径50.8mm
6、真空度：约0.1torr
7、zui 大低电压：~3kv
离子流控制范围：1~9mA
特点:
1全自动数字离子溅射镀膜机
2 可一键进行离溅射镀膜，完成镀膜后可自动卸载真空
3具有涂层电流反馈功能的稳定涂层
4可用于Au, Pt, Pd, Pt-Pd各种金属靶
5采用低噪音旋转泵
